第一七一九章 一起吃年飯

“董事長，浸沒原理雖然是我第一個公開提出來的，但bsec的鄧院士和錢所長帶領bsec光源研究所，在攻克光刻機光源波長193nm的世界性難題進行了近十年的潛心研究，在我之前就提出來以純淨水作為光源介質的研究新路徑，在國際光學和光刻機權威雜誌上發表了數十篇有影響力的論文，透過實驗論證了浸沒原理的可行性，在浸沒原理方面的研究成果遠遠走在了我們和asml的前面，我當時就預感，他們透過純淨水作為光源介質，已經攻克了193nm波長光源的世界性難題，研製成功了134nm波長光源的鐳射器。”

林本堅的面色發紅，雖然沒有有意抄襲bsec專利技術的企圖，但在研發的過程中，發現bsec不僅研發成功了浸沒式光學系統和浸沒式光刻機，還在世界專利局申請了9項技術專利，其中就包括以純淨水作為光源介質的專利技術，他的團隊和asml研究所只好硬著頭皮繼續沿著這條路徑研發下去，最後研究成功，還向世界專利局申請了發明專利，但按照專利技術申請的先後順序，就是侵犯了bsec的專利技術。

林本堅到如今也不理解，bsec為什麼當時不在gca

euv光刻機公司公開euv鐳射器之前，對外公佈攻克了193nm波長光源的世界性難題？

“董事長，bsec是去年6月22日在大陸專利局和世界專利局同時申請9項公司發明專利，其中就包括以純淨水作為光源介質的專利技術，如今都處於公示階段，按照世界專利局的申請流程，要到2006年1月才能批准bsce的9項公司發明專利。我會請普拉多提前向bsec申請以純淨水作為光源介質的專利授權，我們爭取2006年5月拿到20臺xt

1400i浸沒式光刻機。”

林本堅也知道孫健旗下的tic是asml的第二大股東，淘寶控股公司是bsec的控股股東，只要孫健點頭，一切都好辦，但asml生產的浸沒式光刻機到貨起碼要比原計劃晚大半年。

bsec已經提出了專利異議，世界專利局將按照複議程式停止asml提出的浸沒式光刻機和浸沒式光學系統的專利申請，asml就要停止生產xt

1400i浸沒式光刻機，暗地裡生產就是侵權行為，一旦被bsec知曉，asml休想拿到bsec的專利授權。