我的一九八五 “董事长，邓院士他们发现ASmL向世界专利局申请的浸没式光源系统的公司发明专利，其中134nm镭射光源使用纯净水作为浸没

正在鹏城总部召开鹏城证券公司股东大会的孙健接到魏建国的电话。

去年12月11-13日，日本半导体展（SEmIcoNJapan）召开，ASmL正式推出浸没式光刻机的原型机，在ASmL的实验室验证其制程工艺达到65nm，宣称拥有完全自主智慧财产权。