第310章土法上馬

# 第310章土法上馬

第二天一大早，趙四是被電話鈴聲吵醒的。

　　他睡在車間旁邊臨時隔出來的小辦公室裡，一張行軍床，一條薄被。電話是北京打來的，楚老的聲音聽起來比往常更沉。

　　「趙四，出事了。」

　　趙四瞬間清醒：「您說。」

　　「咱們進口光刻膠的渠道，斷了。」

　　楚老那邊有翻紙的聲音，「具體原因還在查，但東西運不過來了。」

　　「倉庫裡的存貨，還能撐多久？」

　　趙四心往下沉：「最多......半個月。」

　　「如果按現在的試驗強度，可能十天。」

　　電話那頭沉默了。

　　足足十幾秒，只有電流的滋滋聲。

　　「楚老？」趙四試探著問。

　　「我在想。」楚老緩緩說，「想有沒有替代方案。」

　　「咱們自己......能造光刻膠嗎？」

　　這個問題太沉重了。光刻膠，半導體工藝中最關鍵的耗材之一，國內從沒批量生產過。技術封鎖、原料短缺、設備空白......全是坎。

　　「不知道。」趙四實話實說，「但可以試試。」

　　「那就試。」楚老斬釘截鐵，「趙四，這是生死線。沒有光刻膠，整個工程就得停。停了再啟動，人心就散了。」

　　「我明白。」

　　「需要什麼支持？」

　　「人。」趙四腦子飛快轉，「懂化學的，懂材料的，最好是搞過感光材料的。還有......我需要聯繫全國的相關單位，找可能的原料、技術線索。」

　　「我給你開條子。」楚老說，「以748工程的名義，向全國化工、材料系統求援。但趙四，時間不等人。你們最多有七天。七天之內，必須拿出可行的方案。哪怕只是能用的土辦法，也得上。」

　　「七天......」趙四咬牙，「行，七天就七天。」

　　掛了電話，他坐在行軍床上，盯著斑駁的牆面發呆。窗外的天剛蒙蒙亮，車間裡已經傳來機器預熱的聲音。陳啟明他們又開工了。

　　可如果沒有光刻膠，這一切聲音，很快就會停下來。

　　趙四深吸一口氣，起身推門出去。

　　車間裡，林雪正在記錄昨天的工藝數據。看見趙四，她抬頭笑了笑：「趙總工，昨天第三爐的數據出來了，良品率6.2%，比前兩爐都好。陳啟明說，照這個趨勢，月底能到8%。」

　　「光刻膠要斷了。」趙四直接說。

　　林雪的笑容僵在臉上：「什麼？」

　　「進口渠道斷了，存貨最多撐十天。」趙四聲音不高，但車間裡很靜，所有人都聽見了。

　　機器聲停了。陳啟明從光刻機旁走過來，手上還戴著橡膠手套：「趙總工，您剛說......」

　　「光刻膠要斷了。」趙四重複，「咱們得自己想辦法。」

　　「自己造？」張衛東也過來了，一臉難以置信，「那東西......咱們連配方都沒有。」

　　「配方可以研究。」趙四環視眾人，「關鍵是，有沒有人懂這個？感光材料、光敏樹脂、有機化學......誰有基礎？」

　　大家面面相覷。748團隊裡，學電子的、學物理的、學計算機的都有，就是沒有專門學化學的。

　　「我......」角落裡傳來一個怯生生的聲音。

　　是王技術員，負責配光刻膠的那位。她舉了舉手：「我以前在化工廠，做過感光材料......但那是印染用的，跟這個不一樣。」

　　「印染用的也是感光材料。」趙四眼睛一亮，「王工，你具體做過什麼？」

　　「重鉻酸鹽明膠。」王技術員說，「就是重鉻酸鉀和明膠混合，紫外線照射後會硬化，不溶於水。印染廠用來做模版。」

　　趙四腦子裡閃過一道光。重鉻酸鹽明膠......這東西他在資料裡見過，是早期光刻膠的一種，雖然性能差，但能用。

　　「配方你還記得嗎？」

　　「記得。」王技術員點頭，「但趙總工，這東西解析度很低，只能做粗線條。而且穩定性差，放幾個小時就失效。」

　　「能做成什麼樣？」

　　「我做給你看。」王技術員說，「原料車間裡應該都有。」

　　她轉身去了倉庫。二十分鐘後，拿著幾個瓶瓶罐罐回來。重鉻酸鉀、明膠粉、蒸餾水。

　　就在工作檯上，王技術員開始配膠。動作很熟練，稱量、溶解、攪拌、過濾。最後得到一小瓶淡黃色的粘稠液體。

　　「這就是？」陳啟明湊過來看。

　　「嗯。」王技術員把膠塗在一片玻璃片上，用甩膠機甩勻，形成一層薄膜，「但還沒完，得『敏化』。重鉻酸鹽本身感光性不強，需要加入胺類物質增強。常用的有二乙醇胺......」

　　「我們有嗎？」

　　「沒有。」王技術員搖頭，「而且敏化後，膠的壽命更短，最多兩小時。」

　　趙四看著那層淡黃色的膠膜，腦子裡飛快地轉。重鉻酸鹽明膠......解析度低、穩定性差、壽命短，問題一大堆。

　　但它是光刻膠。能在紫外線下硬化，能形成圖案。

　　而且原料易得。重鉻酸鉀是常用化工原料，明膠更不用說。

　　「王工，」他忽然問，「如果不用胺類敏化，直接用重鉻酸鹽，感光性差多少？」

　　「差很多。」王技術員說，「可能需要曝光時間延長几倍，而且線條邊緣不銳利。」

　　「但如果我們的光刻機曝光能量足夠強呢？」

　　「那......也許可以試試。」王技術員不太確定，「但趙總工，這東西真不行。國際上的光刻膠都是專門的感光樹脂，解析度能達到微米級。咱們這個，可能連十微米都做不出來。」

　　「先別管國際上。」趙四說，「咱們的目標是做出能用的晶片，不追求性能多好。十微米的線條，對4位處理器來說，夠不夠？」

　　他看向陳啟明。

　　陳啟明皺眉想了想：「4004的最小線寬是8微米。如果咱們放寬到10微米……晶片面積會大一些，但功能應該能實現。」

　　「那就先解決有無問題。」趙四拍板，「王工，你帶幾個人，全力攻關重鉻酸鹽明膠。目標是：一、配方穩定，批批能用；二、解析度儘量高；三、壽命儘量長。」

　　「好……我試試。」王技術員壓力很大。

　　「不是你一個人。」趙四說，「林雪，你配合王工，負責測試。每配一批膠，馬上上機試，記錄效果。張衛東，你改造光刻機的曝光系統，提高紫外光強度，補償感光度不足。」

　　「明白！」

　　「陳啟明，你調整設計。」趙四繼續說，「既然工藝能力有限，咱們就把設計放寬。線寬統一加到10微米，間距也放寬。先保證能做出來，再談性能優化。」

　　「行。」

　　任務分下去，車間又動起來了。但氣氛不一樣了。之前是為提高良品率奮鬥，現在是為生存奮鬥。

　　王技術員的小組當天就配了五批膠，每批配方稍有不同。重鉻酸鹽濃度、明膠比例、水浴溫度、攪拌時間……全都記錄在案。

　　林雪帶著人一批批試。效果確實不理想。有的膠塗不均勻，有的曝光後根本硬不起來，有的顯影時整片脫落。

　　到了下午，終於有一批勉強能用。在矽片上曝光後，能形成模糊的圖案，雖然線條邊緣像狗啃的一樣，但至少是個圖案。

　　「趙總工，您看。」林雪把晶圓遞過來。

　　趙四對著光看。線條很粗糙，有的地方寬，有的地方窄，但連續性是好的。

　　「能蝕刻嗎？」

　　「試了，能。」林雪說，「但蝕刻後的線條更難看，而且有鑽蝕現象。」

　　「先不管美觀。」趙四放下晶圓，「用這個膠，做一片完整的晶片，從開始到結束，全過程走一遍。看最終能不能出管芯，能不能測試。」

　　「現在？」

　　「現在。」

　　整個車間都動員起來。這是第一次用自製光刻膠走完整流程，每個人都緊張。

　　塗膠、前烘、曝光、顯影、後烘、蝕刻……一步接著一步。王技術員全程跟著，臉色煞白，手都在抖。

　　趙四沒催她，只是站在旁邊看。

　　蝕刻完成時，天已經黑了。矽片上傳質層上，出現了歪歪扭扭但完整的電路圖案。

　　「成了！」有人小聲說。

　　「還沒完。」陳啟明很冷靜，「還有擴散、離子注入、金屬化、劃片、封裝、測試。差一步都不算成。」

　　但他眼裡有光。

　　夜裡十點，第一片用自製光刻膠製作的管芯終於出來了。醜得讓人不忍直視，但畢竟是完整的。

　　測試臺前圍滿了人。張衛東把管芯夾在探針臺上，接通測試儀。

　　「上電。」

　　指示燈亮了。

　　「測電源電流。」

　　「正常。」

　　「測基本功能……」

　　一項項測下來。雖然性能參數慘不忍睹。速度只有設計值的三分之一，功耗卻高了一倍，但所有基本功能都實現了。這是一個能工作的、雖然很爛的4位處理器核。

　　當最後一項測試通過時，車間裡爆發出歡呼聲。

　　「成了！真成了！」

　　「土膠也能造晶片！」

　　王技術員一屁股坐在地上，眼淚刷地流下來。她五十多歲的人了，哭得像個孩子。

　　趙四走過去，扶她起來：「王工，辛苦了。」

　　「不辛苦……不辛苦……」王技術員抹著眼淚，「我就是……就是沒想到，真能行……」

　　「這只是第一步。」趙四說，「膠的性能還得優化。但至少證明，路走得通。」

　　他轉向所有人：「同志們，今天咱們證明了，沒有進口光刻膠，咱們也能造晶片！用土辦法，用笨辦法，但能造出來！」

　　「但這膠太差了。」陳啟明實話實說，「良品率估計連1%都不到，性能也差。」

　　「差不怕。」趙四說，「先解決有無，再解決好壞。王工，你們組接下來的任務，就是優化配方。林雪配合測試，張衛東配合設備改造。咱們的目標是。一個月內，把土膠的良品率提到5%，三個月內提到10%。」

　　「那進口膠……」有人問。

　　「繼續想辦法進口，但不能等。」趙四說，「兩條腿走路。土膠是保底，是咱們的底氣。有了這個底氣，談判桌上腰杆都硬。」

　　夜深了，但沒人想走。大家圍著那片醜醜的管芯，看了又看，像看剛出生的孩子。

　　它確實醜，確實弱，確實有很多問題。

　　但它是用完全自主的材料、在完全自主的生產線上造出來的第一顆晶片心臟。

　　這意味著，即使外面徹底封鎖，他們也有能力繼續幹下去。

　　這才是最重要的。

　　趙四走出車間，站在院子裡。上海的夏夜悶熱，但夜空很清澈，能看見星星。

　　他想起蘇婉清。上次通電話時，她說過醫院裡也在用土辦法。沒有進口藥，就用中藥方劑替代，雖然療效慢一點，但能治病救人。

　　道理是一樣的。沒有最好的，就用能用的。先解決有沒有，再解決好沒好。

　　路都是這麼走出來的。

　　身後傳來腳步聲。陳啟明走出來，遞給他一支煙。

　　「趙總工，您說……咱們這土膠，能走到哪一步？」

　　趙四點著煙，深吸一口：「走到進口膠重新運進來那一步。」

　　「然後呢？」

　　「然後？」趙四笑了，「然後咱們就有兩種膠了。土膠是備胎，是底氣。進口膠是主力，是追求。兩條腿走路，才穩當。」

　　陳啟明也笑了：「您總是有辦法。」

　　「不是我有辦法。」趙四望著星空，「是咱們這些人，總有辦法。條件越差，辦法越土，但越管用。」

　　是啊，土辦法。

　　用重鉻酸鹽和明膠造光刻膠，聽起來像天方夜譚。

　　但他們做出來了。

　　雖然粗糙，雖然勉強。

　　但做出來了。

　　這就是中國技術人的韌性。沒有路，就趟出一條路。沒有橋，就搭一座橋。沒有膠，就自己熬一鍋。

　　熬出來的膠，可能不好看，可能不好用。

　　但能粘住夢想，能刻出未來。

　　這就夠了。

　　車間裡，又傳來機器的聲音。夜班的人開始用土膠做新一輪試驗了。

　　趙四掐滅煙，轉身走回去。

　　路還長，膠還土。

　　但畢竟，路在腳下，膠在手中。

　　這就夠