第309章第一道光

# 第309章第一道光

上海的七月，熱得像蒸籠。

　　趙四走下火車時，撲面而來的不只是熱浪，還有一股混合著機油、鐵鏽和潮溼空氣的工業味道。上海元件三廠。

　　前身是生產電子管的國營廠，現在被劃給了748工程，作為第一條4位微處理器生產線的籌建地點。

　　廠門口掛著新牌子：「748工程上海實驗基地」。字是剛刷的，白底紅字，在烈日下有些刺眼。

　　林雪已經在門口等著了，曬得滿臉通紅，工裝後背溼了一大片。

　　「趙總工！」她小跑著迎上來。

　　「怎麼是你來接？陳啟明他們呢？」趙四把簡單的行李遞給她。

　　「在車間，出事了。」林雪壓低聲音，「第一爐光刻，良品率……不到5%。」

　　趙四心裡一沉：「走，去看看。」

　　車間是原先的電子管裝配車間改造的，窗戶都封死了，裝了簡易的空調和除塵設備。

　　一走進去，一股更複雜的氣味撲面而來。化學試劑、臭氧、還有金屬燒灼後的焦味。

　　陳啟明、張衛東都在，還有上海本地的劉工，幾個人圍在一臺老舊的光刻機前，臉色都很難看。

　　「趙總工。」陳啟明看見他，嗓子啞得厲害。

　　「具體什麼情況？」趙四沒廢話，直接走到工作檯前。

　　臺上攤著幾片晶圓，在日光燈下泛著詭異的彩色光澤。

　　他拿起一片對著光看。

　　上面刻蝕的電路圖案模糊不清，有的地方線條斷了，有的地方粘連在一起，像小孩子拙劣的塗鴉。

　　「這是第一爐？」趙四問。

　　「第三爐了。」劉工苦著臉，「第一爐全軍覆沒，第二爐好點，有3%能用。這爐……最多5%。」

　　「問題出在哪？」

　　「不知道。」陳啟明抓了抓頭髮，頭髮上沾著不知名的化學粉末，

　　「光刻膠不均勻？曝光時間不對？顯影液濃度有問題？都有可能。我們挨個試，試了三天，還是這樣。」

　　趙四放下晶圓，走到光刻機前。

　　這臺機器是六十年代初從東德進口的，原本用於生產簡單的電晶體。

　　控制面板上的德文標籤已經磨損，幾個旋鈕的刻度都模糊了。

　　「機器校準過嗎？」

　　「校準了三次。」張衛東說，「我和劉工親自調的。光學系統我們也拆開清潔過，鏡片沒問題。」

　　「光刻膠呢？」

　　「按配方配的。」林雪接口，「我們試了三種配方，這種效果最好，但也……」

　　趙四沉默了一會兒，環視車間。

　　這裡條件確實簡陋。潔淨度最多千級，溫度控制靠幾臺老空調，溼度完全看天氣。

　　而他們要做的，是在矽片上刻出寬度只有幾微米的線條。

　　這就像用生鏽的刻刀在頭髮絲上雕刻。

　　「把所有人都叫來。」他忽然說，「開個現場會。」

　　十分鐘後，車間裡站了二十幾個人。

　　除了北京來的核心團隊，還有上海廠本來的技術工人、新招的學徒，以及幾個從其他單位借調來的專家。

　　大家都站著，沒人坐。空氣悶熱，但沒人擦汗。

　　「情況大家都看到了。」趙四開門見山，「良品率5%，等於100片裡只有5片能用。這個成本，我們承受不起。更關鍵的是，如果連最簡單的光刻都過不了關，後面的擴散、離子注入、金屬化，更沒戲。」

　　他頓了頓，目光掃過每個人：「現在不是互相埋怨的時候，也不是退縮的時候。我們需要找到問題，解決問題。每個人，說說自己的看法。從光刻膠開始。」

　　負責光刻膠的是個中年女技術員，姓王，以前在化工廠工作。她有些緊張：「趙總工，我……我都是按配方配的。原料是咱們能搞到的最好的，配比也是反覆核對過的。」

　　「原料批次穩定嗎？」

　　「不穩定。」王技術員實話實說，「這批重鉻酸鹽是天津產的，純度標的是99%，但實際怎麼樣……我們沒儀器測。」

　　「顯影液呢？」

　　「顯影時間控制不準。」一個年輕工人舉手，「咱們的定時器是機械的，誤差大。有時候差幾秒鐘，效果就完全不一樣。」

　　「還有溫度。」另一個說，「車間溫度波動大，光刻膠的感光性會變。中午熱的時候和晚上涼的時候，曝光時間得調。」

　　問題一個接一個地冒出來。設備老舊、材料不穩、環境控制差、操作經驗不足……每一個問題單獨看都不致命，但疊加在一起，就成了跨不過去的坎。

　　等大家都說完，車間裡一片沉默。

　　沮喪的情緒像車間裡的化學氣味一樣，瀰漫在空氣中，黏糊糊的，甩不掉。

　　「都說完了？」趙四問。

　　沒人吭聲。

　　「好，那我說幾句。」他走到光刻機前，拍了拍那臺老舊的機器，「這臺機器，是東德二十年前的產品。按國際標準，早該淘汰了。但我們沒有更好的，只能用這個。」

　　「我們的原料，純度不夠，批次不穩。但我們沒有外匯進口高純度的，只能用這個。」

　　「我們的車間，潔淨度不夠，溫控不精準。但我們沒有錢建超淨車間，只能用這個。」

　　他頓了頓，聲音提高：「但同志們，這些是理由嗎？是咱們做不出合格晶片的理由嗎？」

　　還是沒人說話。

　　「我說，不是！」趙四重重地說，「設備舊，我們可以改造。材料差，我們可以提純。環境不好，我們可以想辦法控制。這些是困難，但不是絕路！」

　　他拿起一片報廢的晶圓：「大家看看這個。線條模糊，斷線，粘連。問題出在哪？出在我們把每個環節都當成獨立的，沒有當成一個整體。」

　　「光刻不是塗膠、曝光、顯影三步就完了。它是一整套工藝。矽片清洗得乾淨嗎？塗膠前表面處理到位嗎？膠膜厚度均勻嗎？曝光能量夠不夠？顯影時間準不準？後烘溫度對不對？」

　　他一個個問題拋出來，每個問題都指向一個具體的環節。

　　「我們現在要做的，不是抱怨設備不行、材料不行。」趙四放下晶圓，「而是要把這整套工藝，拆解成幾十個、幾百個細節，每個細節都做到我們能做的最好。設備精度不夠，我們就用土辦法補償。材料純度不夠，我們就多道工序提純。環境控制不好，我們就人工監測，隨時調整。」

　　他看向陳啟明：「啟明，從今天起，你負責建工藝檔案。每一次光刻，每一個參數。室溫、溼度、膠的批次、塗膠轉速、曝光時間、顯影濃度、後烘溫度。全部記錄。做一百次，記錄一百次。我們找規律，找最佳參數組合。」

　　陳啟明眼睛亮了：「對！數據積累！量變引起質變！」

　　「林雪，你負責原料。」趙四轉向她，「每一批原料進來，先做小樣測試。不穩定的，就想辦法提純。沒有設備，就用土辦法。重結晶、蒸餾、過濾，什麼都行。咱們不追求99.99%的純度，但至少要保證批批穩定。」

　　「明白！」

　　「張衛東，你帶幾個人，改造設備。」趙四指著光刻機，「這臺老傢伙，控制系統太原始。你們研究研究，能不能加裝簡易的數控？哪怕只是把幾個關鍵參數數位化顯示，也能減少人為誤差。」

　　「這個我能做！」張衛東興奮起來，「我認識郵電局搞自動控制的，可以請他們幫忙。」

　　「劉工，你們上海組的老師傅們，」趙四看向老工人們，「經驗最寶貴。請大家把操作中的訣竅、注意事項，都總結出來，寫成操作規程。新人來了，按規程培訓，不走樣。」

　　劉工用力點頭：「趙總工，您放心，這事交給我們。」

　　任務分下去了，氣氛不一樣了。剛才那種黏糊糊的沮喪，被一種具體的、可以著手去做的急切取代。

　　「還有，」趙四最後說，「從今天起，咱們改個規矩。」

　　所有人都看著他。

　　「不做成品率統計了。」趙四說，「改成進步率統計。今天良品率5%，明天能不能到6%？這個月平均5%，下個月能不能到7%？咱們不跟別人比，就跟自己比。每天進步一點點，一個月、一年下來，就是翻天覆地的變化。」

　　他頓了頓，聲音緩下來：「同志們，我知道大家累，知道大家難。但咱們幹的是什麼事？是從零開始造晶片！是外國人卡我們脖子的東西！要是輕輕鬆鬆就能做成，還用得著咱們這些人拼死拼活嗎？」

　　「路得一步一步走，山得一寸一寸挖。今天咱們把光刻這道坎邁過去，明天還有擴散，後天還有離子注入。一道坎一道坎地邁，總能走到頭。」

　　「有沒有信心？」

　　「有！」吼聲在車間裡迴蕩。

　　「好，開工！」

　　人群散開，各就各位。陳啟明立刻找來本子，開始設計工藝記錄表。林雪帶著王技術員去了倉庫，盤點原料批次。張衛東圍著光刻機打轉，嘴裡念念有詞。劉工召集老工人，就在車間角落裡開起了小會。

　　趙四沒走。他在車間裡轉，看每一個工位，問每一個細節。

　　他看到年輕的學徒工小周在清洗矽片，動作有些生疏。

　　「小周，多大了？」

　　「十……十九。」小周緊張得手抖。

　　「以前幹什麼的？」

　　「廠裡學徒，學鉗工。」

　　「鉗工好啊。」趙四拿起一片清洗好的矽片，對著光看，「知道這是什麼嗎？」

　　「矽片。」

　　「知道它將來會變成什麼嗎？」

　　小周搖頭。

　　「會變成晶片，變成計算機的心臟。」趙四把矽片放回託盤，「你現在洗的每一片矽片，將來可能用在飛彈上，用在飛機上，用在醫院的設備裡。你手上的功夫，關係到整個系統的成敗。」

　　小周眼睛瞪大了。

　　「所以，手要穩，心要靜。」趙四拍拍他的肩，「好好幹，你幹的活，很重要。」

　　他又走到光刻機旁。張衛東已經拆開了控制箱，正在研究裡面的電路。

　　「怎麼樣？」

　　「比想像的好弄。」張衛東頭也不抬，「機械部分沒法動，但電控可以改。我打算加幾個數字顯示錶，把曝光時間、轉速這些關鍵參數直接顯示出來，再弄個簡易的定時控制器，精度能提高一個數量級。」

　　「需要什麼零件？」

　　「一些電阻電容，還有數碼管。這個不好搞。」

　　「我想辦法。」趙四說，「你儘管設計，零件我來解決。」

　　傍晚時分，陳啟明把第一份工藝記錄表拿來了。表格設計得很詳細，從矽片進車間開始，每一步都有記錄項。

　　「趙總工，您看這樣行嗎？」

　　趙四仔細看了一遍：「可以。但再加一欄。操作員姓名。誰做的，誰負責。好的經驗要推廣，出了問題要溯源。」

　　「明白。」

　　「還有，」趙四想了想，「每天下班前，開十五分鐘的站會。每個人說說今天做了什麼，遇到什麼問題，有什麼發現。信息共享，別悶頭幹。」

　　「好！」

　　天色漸暗，車間裡亮起了燈。日光燈管有些舊了，光線不夠亮，但在矽片上反射出細碎的光。

　　趙四站在車間中央，看著忙碌的人們。

　　空氣依然悶熱，化學氣味依然刺鼻，設備依然老舊。

　　但有什麼東西不一樣了。

　　那種茫然無措的沮喪，變成了有目標的忙碌。每個人都知道自己要做什麼，知道問題在哪裡，知道該往哪個方向努力。

　　這就是他希望看到的。把龐大的、看似不可能的任務，拆解成一個個具體的問題。把抽象的「造晶片」，變成具體的「調光刻參數」「提純原料」「改造設備」。

　　路是一步步走出來的。

　　而今天，他們邁出了真正意義上的第一步。

　　雖然踉蹌，雖然艱難。

　　但畢竟，邁出去了。

　　窗外，上海灘的燈火次第亮起。遠處傳來輪船的汽笛聲，悠長，渾厚。

　　這個城市睡了又醒，醒了又睡。

　　而在這個不起眼的舊車間裡，一群人正醒著，正努力著，正試圖點亮這個國家資訊時代的第一道光。

　　光很微弱。

　　但畢竟，亮