我的一九八五 “孫先生，BSEC什麼時候能研發成功45nm製程的浸沒式光刻機？”

6月5日，阿密特從日本打來電話，接到尼康公司的邀請，他代表Intel前往尼康公司檢視DSP-100乾式光刻機的效能，尼康公司希望Intel提前預定DSP-100，價格可以優惠。

在1994年GCA重回光刻機老大之前，Intel一直是尼康公司的最大客戶。

Intel正在研發第一款四核處理器Core2Quad，即將開啟四核時代的大門，這款CPU擁有582，000，000個電晶體，執行速度為3.4GHz，最大儲存容量為32TB，採用45nm製程工藝。

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阿爾特曼代表AMD公司也出現在尼康公司。

AMD如今正在研發第一款四核處理器速龍IIX4641，採用K10.5架構，這款CPU擁有624，000，000個電晶體，執行速度為3.4GHz，二級快取4M，最大儲存容量為32TB，採用45nm製程工藝。

AMD希望搶在Intel的前面開啟四核時代。

兩人參觀完後，猶豫不決，約在一起，由阿密特給孫健打電話。

阿爾特曼和阿密特都兼任GCA的董事，雖然Intel和AMD是競爭對手，但兩人的私人關係不錯。

GCA、Intel和AMD既是Sematech會員，還是GCAEUV光刻機股份公司的重要股東。

要是GCA的光刻機和Nikon的光刻機製程一樣，價格差不多，Intel和AMD都會購買GCA的。

由於BSEC拒絕給尼康的65nm製程工藝乾式光刻機NSR-S308F專門升級雙工作臺系統，NSR-S308F裝配的還是90nm製程光刻機的雙工作臺系統，工作效率比TWINSCANNXT:2230i低15%左右，加上價格貴45%，NSR-S308F除了SELETE購買了3臺，沒有聽說其他晶圓廠購買。

DSP-100也沒有升級雙工作臺系統，這是一個重大劣勢；預定價格3500萬美元，比之前購買的TWINSCANNXT:2230i貴了2000萬美元，這可以理解。

乾式光刻機和浸潤式光刻機各有優缺點。

乾式工藝需要CVD沉積、幹顯影、幹蝕刻等多環節，裝置佔地面積為浸潤式的5倍以上，綜合成本約為浸潤式的3倍。但乾式工藝材料消耗僅為浸潤式的15-110，每片晶圓能耗降低50%，長期看可減少光刻膠用量30%以上，減低供應鏈風險。

但晶圓廠從浸潤式光刻機換成乾式光刻機，需要在光刻膠型別及塗布方式、光學系統調整、裝置配套設施、工藝引數最佳化、成本投入變化等方面調整，工程師們需要很長的時間才能適應。

預定45nm製程的光刻機到45nm製程工藝的半導體生產線量產，一般建設週期需要一年左右。

哪家先預定DSP-100，哪家就能先拿到！

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